中国科学院微电子研究所历史沿革1958年8月，为研制国防专用109计算机，我国第一个半导体器件生产厂成立，命名为“109厂”，隶属于中国科学院物理研究所
1960年-1965年，隶属于中国科学院半导体研究所
1965年-1967年，隶属于中国科学院
1967年-1975年，隶属于中国人民解放军第14研究院编制建厂（所）
1975年-1986年，隶属于中国科学院
1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分单位合并，成立中国科学院微电子中心，隶属于中国科学院至今
2003年10月16日，为了集中和充足优势资源，进一步凝练和明确发展方向，拓宽应用研究领域，巩固创新成果，“中国科学院微电子中心”更名为“中国科学院微电子研究所”
2018年10月，被评为全国中小学生研学实践教育基地
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