中国科学院上海微系统与信息技术研究所人员编制根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有在职职工780人，其中一线科技和管理人员685人，研究员及正高级工程技术人员89人，有中国科学院院士2人，美国国家科学院外籍院士1人，中国科学院“百人计划”入选者18人，国家杰出青年科学基金获得者4人，国家“百千万人才工程”入选者6人，上海市科技领军人才8人次
中国科学院院士：邹世昌、王曦 其他科学院院士
类别姓名美国国家科学院外籍院士李爱珍资料来源： 中国科学院“百人计划”入选者曹俊诚李昂田彤程建功李昕欣王曦狄增峰林敏王跃林孔祥燕孟凡英尤立星龚谦欧欣俞凯姜达钱骅张健资料来源： 国家杰出青年科学基金获得者姓名入选时间曹俊诚2004年程建功---李昕欣2007年王曦---资料来源：
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