中国科学院上海微系统与信息技术研究所教学建设根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所有在学研究生442人，其中硕士生267人、博士生175人，在站博士后16人
学生4次获得全国百篇优秀博士论文，5次获得中国科学院优秀博士论文，8位研究生获得中国科学院院长奖特别奖，33位研究生获得中国科学院院长奖优秀奖，另有60余人次获得中科院冠名奖和上海市奖励
2009年全国百篇优秀博士论文论文名称完成人导师时间高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术顾磊李昕欣2009年资料来源：
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