北京大学微电子学研究院科研成果“十五”期间，共发表论文近800篇，其中被SCI录用191篇，被EI录用332篇；共申请专利108项，有27项已获专利授权
“硅基MEMS技术及应用研究”获国家发明二等奖和北京市科技进步一等奖；“小尺寸MOS器件可靠性及其应用技术研究”和“CMOS/SOI ASIC及深亚微米器件电路研究”均获科技部、财政部、国家计委、国家经贸委“九五”国家重点科技攻关计划优秀科技成果；“新型抗辐照CMOS/SOI集成电路技术研究”获信息产业部科技进步二等奖；“用于集成电路芯片检测与分析的比例差值算符及其应用技术”获教育部科技进步二等奖
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