北京大学微电子学研究所研究机构微电子机械系统研究室研究方向：微电子机械系统的设计和研制

如今重点进行微陀螺、微加速度计等MEMS器件的研制

超高速集成电路研究室研究方向：主要从事硅超高速集成电路新工艺新器件和新结构电路研究和难熔金属氮化物砷化镓电路研究

研究内容：1.多晶硅发射极微波分频器技术研究;2.全温区RCA双极晶体管及其在集成电路中的应用研究;3.硅高速集成电路研究

异质结构器件和电路研究室研究方向： SOI器件、电路研制；器件、电路模拟开发；新型SOI材料、新结构SOI器件（栅控混合管等）的研究

专用集成电路设计研究室研究方向：ASIC设计方法学--基于VHDL高层级行为描述；微处理器嵌入的ASIC设计；可剪裁微处理器核的设计；单元/模块电路库的建立

新器件研究室研究方向：半导体新材料、新结构；深亚微米/纳米硅器件物理；平面显示技术的研究；高温超导体在微电子技术中的应用

小尺寸器件物理研究室研究方向：小尺寸MOSFET器件物理及其可靠性；绝缘介质及半导体薄膜材料、Si/SiO2界面的物理性能及其可靠性；半导体器件、材料陷阱参数表征方法与技术

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