中国真空学会下设机构学会下设5个工作委员会：. 《真空科学与技术(中文版)》委员会；. 咨询工作委员会；. 真空科学技术普及和教育委员会；. 中国真空学会奖学金评审工作委员会；. 中国真空网
中国真空学会的科技活动涵盖以下领域，设有7个专业委员会：. 真空工程（前身为4个分支，即真空物理、真空获得技术、核真空以及真空测量与校准）；. 表面与纳米科学；. 质谱分析与检漏；. 电子材料与器件（原称为真空在电子器件中的应用）；. 薄膜；. 真空冶金；.显示技术
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