中国科学院上海技术物理研究所设施资源科研设备据2016年9月研究所官网显示，研究所公共技术服务中心设有薄膜生长与表征机组、器件设计制备与分析机组、空间环境模拟试验机组、先进光学制造机组、电子学装联机组五个专业实验平台；拥有KM-1.8冷背景超高真空试验设备、激光干涉仪、三座标机、数控小磨头加工中心、温度试验箱等科研设备
馆藏资源据2016年9月研究所官网显示，研究所图书馆共有图书三万多册，期刊五百余种，期刊合订本二万余册，拥有中国国内外数据库55种，联合目录集成服务方便用户了解中国科学院所属图书馆关于印本资源和电子资源的收藏情况，及中国400余家图书馆关于该资源印本的收藏情况
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