北京大学微电子学研究院研究方向ULSI新结构器件；射频SOI器件；宽禁带半导体材料与器件；MOS器件可靠性物理及应用；嵌入式微处理器；信息安全芯片；多目标芯片；硅基MEMS加工与设计技术；MEMS器件；MEMS封装与测试技术
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