德国大学卓越计划入选高校自2006年起的第一轮轮申请，先后有两批次九所德国大学入选精英大学，其资助年限为2007-2012

2011年开始第二轮卓越计划的评选，其资助期限为2012-2017，总资助额为27亿欧元

2010年开始提交申请，通过第一轮评价，2011年9月共确定143项申请进行最终竞争，其中包括63项精英研究生院（Graduiertenschule）申请计划，64项精英研究集群（Exzellenzcluster）申请计划，16项精英大学（Zukunftskonzepte）申请计划

2012年6月15日揭晓最终结果，新增五所精英大学，之前入选的九所精英大学中有三所被淘汰，哥廷根大学、弗莱堡大学和卡尔斯鲁厄理工学院三所大学在这次精英大学的评选中被剥夺了精英大学的称号，最终总计11所大学重新被选为精英大学，这11所大学将在未来5年里获得27亿欧元的资助，其中75%的资助由联邦政府承担，25%由各大学所在联邦州支付

45项精英研究生院（Graduiertenschule）得到资助，43项精英研究集群（Exzellenzcluster）得到资助

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