报告题目：电负性气体放电结构的数值模拟、解析理论和实验诊断

报告时间：2022年1月15日晚上7:00

报告地点：腾讯会议号：540435402 密码：888888

报告人简介：赵书霞，女，博士，大连理工大学物理学院，副教授。从事射频等离子体源的数值模拟和理论解析工作，熟悉感性和容性耦合放电机理和内部的物理过程，曾自主开发了粒子、流体、及两者混合模拟代码。她关注放电的基本物理化学过程，曾研究碳氟等离子体内部的分子碎裂机制和负离子行为、以及采用该源进行硅基片刻蚀过程的均匀性。此外，她还关注数值模拟技术本身，带领学生研究了流体模型方程漂移扩散近似的精确性、及重粒子输运系数的自洽理论。

现在她致力于攻克电负性等离子体源的放电结构和输运特性，这些源应用于实际的刻蚀和沉积工艺过程中，对其基本放电过程的认知有助于我们更好地了解和运用这些等离子体源。负离子的存在使得电负性等离子体的放电机理要复杂且有趣得多，以感性放电为例，采用Comsol流体模拟已经发现了彗星盘、放电分层行为、以及岛屿型和空心结构（基于放电剖面而命名）。要分析这些剖面和结构形成的原因，需要流体解析理论的支撑，如早期的抛物、椭圆和平顶模型、以及新发展的自凝聚理论。放电结构是观测等离子体源内部输运过程和平衡动力学的窗户，透过这扇窗，我们可以看到双极扩散行为、双极自凝聚行为、各种玻尔兹曼平衡的破裂和再建立、以及放电体区内鞘层和双层搭建的过程。新发现的这些实验室等离子体物理与天体物理和空间等离子体学有某种相似度，将有助于我们更好地了解宇宙。从方法论看，这些理论预测尚需要实验佐证，即探针理论（包括电子搜集和电子发散两种类型），它即是这次苏州之旅的动力。

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