雒建斌:纳米级润滑膜厚度测量仪

雒建斌科研成就科研综述雒建斌研制出纳米级润滑膜厚度测量仪,发现了薄膜润滑的系列新现象,建立了薄膜润滑物理模型和润滑失效准则

将纳米摩擦学研究与先进电子制造相结合,在表面平坦化方面取得了关键技术突破,实现了表面粗糙度小于1Å的超光滑表面制造,并应用到计算机硬盘、单晶硅片、蓝宝石晶圆等制造中 

学术论著根据2020年10月清华大学网站显示,雒建斌作为第一作者出版英文专著1部,参编英文论著1部,翻译英文专著1本;发表论文500余篇,其中SCI收录300余篇 

学术交流根据2020年10月清华大学网站显示,雒建斌在国际会议上做会议报告(Plenary和Keynote)30余次 

科研成果奖励根据2020年10月清华大学网站显示,雒建斌现获得国家技术发明三等奖1项,国家自然科学二等奖2项,国家科技进步二等奖1项,省部级科技奖12项;获发明专利授权90余件 

获奖时间项目名称奖励名称1996年纳米级润滑膜厚度测量仪国家发明奖三等奖2001年纳米润滑的研究和实验国家自然科学奖二等奖(排名第二) 2008年超精表面抛光、改性和测试技术及其应用研究国家科技进步奖二等奖(排名第一) 

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