王阳元科研成就科研综述王阳元成功主持研究硅栅N沟道技术和中国第一块1024位MOS DRAM（MOS：金属氧化物半导体，Metal Oxide Semiconductor； DRAM：动态随机存取存储器，Dynamic Random Access Memory），推动MOS集成电路技术的发展

在国际上提出了多晶硅薄膜氧化动力学新模型和应用方程以及与同事合作在国际上提出MOS绝缘层中可动离子和电荷陷阱新的测量方法

率先开发成功多晶硅发射极超高速集成电路技术，推动中国双极集成电路技术发展

创建了SOI（绝缘衬底上的硅 Silicon-On-Insulator）新器件研究室等机构，主持建设了中国第一个国家级微米/纳米加工技术重点实验室

在SOI新器件与电路和MEMS系统（MEMS：微机电系统，Micro-Electro-Mechanical System）等领域均有重大建树 

王阳元在任全国ICCAD（集成电路计算机辅助设计，Integrated Circuit Computer Aided Design）专家委员会主任和全国集成电路产品开发专家委员会主任期间，领导研制成功了中国第一个大型集成化的ICCAD系统和300多种集成电路新产品，为中国集成电路设计业的发展打下了重要技术基础

他与国际同行创建了中芯国际集成电路制造有限公司，成为中国集成电路产业发展中新的里程碑

之后致力于绿色微纳电子学科的建设，率先开展低功耗和纳米级集成电路研究 

学术论著根据2021年3月北京大学信息科学技术学院网站显示，王阳元共发表和合作发表科研论文300余篇，出版著作9部 

出版日期名称作者出版社1988.08《多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用》王阳元等编著北京：科学出版社1991.05《集成电路工艺基础》王阳元等编著北京：高等教育出版社1991.08《大规模集成电路研究成果汇编》王阳元，许居衍编七五攻关成果汇编部1992.03《多晶硅发射极晶体管及其集成电路》王阳元等编译北京：科学出版社1992.05《半导体器件 物理与工艺》（美）施敏著；王阳元等译北京：科学出版社1993.04《集成电路工业全书 技术·经济·管理》王阳元主编北京：电子工业出版社1998.09《王阳元文集》王阳元著北京：北京大学出版社1998.12《计算机与微电子科学技术国际研讨会论文集》王阳元主编北京：北京大学出版社2006.01《王阳元文集 第2辑》王阳元著北京：科学出版社2008.05《我国集成电路产业发展之路》王阳元，王永文著北京：科学出版社2010.07《绿色微纳电子学》王阳元编著北京：科学出版社 2013.01《绿色微纳电子学 英文版》王阳元主编北京：科学出版社2013.05《Green Micro/Nano Electronics》王阳元编北京：科学出版社2015.01《王阳元文集 第3辑》王阳元著北京：科学出版社2015.01《战略 生存与发展之本 我国集成电路产业与科技战略研究选集》王阳元，王永文著北京：科学出版社2018.09《集成电路产业全书 上 中 下》王阳元主编北京：电子工业出版社承担项目2000年，王阳元与林兰英院士、李志坚院士和吴德馨院士等一起发起，建立了由北京大学牵头的“973”基础研究课题，从事亚50nm的新器件和工艺的研究

2004年，王阳元与严晓浪教授、张汝京博士等一起发起，由北京大学微电子研究院等与中芯国际合作申请建立了“863”高技术课题，进行90nm-65nm大生产技术研究 

科研成果奖励根据2021年3月北京大学信息科学技术学院网站显示，王阳元取得发明专利授权62项，拥有20项重大科技成果 

时间项目名称奖励名称1978年1024位MOS动态随机存储器全国科学大会奖（集体）1987年国家教委科技进步二等奖1990年国家发明三等奖1991年国家教委科技进步一等奖1991年“七·五”科技攻关重大成果奖1996年“八·五”科技攻关重大成果奖1997年国家教委科技进步二等奖1999年信息产业部科技进步奖二等奖2002年北京市科技进步一等奖2007年国家技术发明二等奖2008年90纳米-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究国家科技进步二等奖（排名第一） 2008年教育部科技进步一等奖2008年北京市科技进步一等奖2015年教育部自然科学一等奖

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