屠海令荣誉表彰时间荣誉表彰授予单位1985年有贡献归国留学人员奖1992年国务院政府特殊津贴中华人民共和国国务院1996年国家有突出贡献的中青年专家2001年全国五一劳动奖章中华全国总工会2002年国际半导体材料与设备协会杰出贡献奖国际半导体材料与设备协会 2004年何梁何利基金科学与技术进步奖（技术科学奖）何梁何利基金 2007年中国工程院院士中华人民共和国国务院
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