微米技术_专业知识

微米技术

校园生活/专业知识 2023-05-07 11:33:17 336 来源：互联网

μm微米技术微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm（10-6m）的体系

20世纪60年代后期，研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作，这项技术给机械领域带来的进步，就像集成电路技术给电子领域带来的一样

微米技术也称为微机电系统( MEMS)，其始于1969年美国西屋(Westinghouse)公司设计的谐振栅—场效应晶体管

接下来的十年中，一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器

技术上的突破一直持续到20世纪80年代初，使用新型多晶硅表面微加工技术来制造用于磁盘驱动磁头的驱动器

到了80年代后期，MEMS器件的潜力被认可，开始广泛应用于微电子和生物医药工业领域

25年中，MEMS已经从技术好奇心的领域来到了充满商业潜力的世界

今天，MEMS器件在汽车安全气囊、喷墨打印机、血压监测仪、投影显示系统以及空间系统中均成为核心部件，已经展现出广泛的用途

可以预见，在不远的将来，这些MEMS器件将像微电子产品一样普及

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