μm超微米技术作为精密机械的基础技术，超微米技术是在一些重要工业部门的推动下发展起来的

例如，大型天文望远镜的抛物面反射镜，用金刚石车刀直接车削时，要求加工出几何精度高于1/10光波波长的表面，即几何形状误差小于0.05微米或2微时

大规模集成电路的生产、超大规模集成电路的研制，要求光刻的线纹宽度由1微米逐步缩小到0.1~0.2微米，相当于一个数量级l这不但要求严格的恒温、恒湿、恒气压和防尘、防振、防磁的超净环境，而且要求图形的对准精度、基准线纹的精度比上述数字还高出一个数量级

在计算机外围设备的生产中，大容量磁鼓和磁盘的制造是一个突出的例子

为了保证磁头与磁盘在工作过程中维持1微米以内的浮动气隙，就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动量

另一方面，我们必须打破把精密机械看作是十分狭隘的、单纯精密加工的观点

今天，精密机械已经成为一个内容十分广阔的边界工艺学科

电子束制板、软X射线曝光、乃至微细图形对准技术等等，事实上早巳突破了古典的精密加工的范畴

可以这样说，超微米技术是许多学科向精密机械领域渗透的结果

固体物理、电子光学、自动控制等等，都在超微米技术中找到了用武之地，更不用说一般的电子学和应用光学了

以刻线技术为例，从五十年代初期起，短短三十多年中，就经历了三个阶段

机械刻线、光刻和电子束刻线

固然，机械刻线的方法至今仍然到处可见，但作为集成电路生产的主流已经广泛采用光刻，电子束刻线技术在集成电路和集成光学器件的生产中也有了越来越广泛的应用

由此可见，超微米技术既是许多现代工业部门的共同基础，又是许多学科在精密机械领域中渗透的结果

因此，从理论上和实践上认真总结各项超微米技术，具有极为重要的意义

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