位移传感器细分技术随着对测量精度要求的提高,以栅距为单位已不能满足要求,需要采取适当的措施对莫尔条纹进行细分
所谓细分就是在莫尔条纹信号变化一个周期内,发出若干个脉冲,以减少脉冲当量
如一个周期内发出n个脉冲,则可使测量精度提高n备,而每个脉冲相当于原来栅距的1/n
由于细分后计数脉冲频率提高了 n倍,因此也称n倍频
通常用的有两种细分方法:其一:直接细分
在相差1/4莫尔条纹间距的位置上安放两个光电元件,可得到两个相位差90o的电信号,用反相器反相后就得到四个依次相差90o的交流信号
同样,在两莫尔条纹间放置四个依次相距1/4条纹间距的光电元件,也可获得四个相位差90o的交流信号,实现四倍频细分
其二:电路细分
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