光电信息处理微电子技术微电子技术是光电子信息处理技术的前提
以0.25μm COMS工艺技术为主流的微电子技术已进入大生产,0.1~0.025μm COMS器件在实验室中已制备成功
表1为美国国家半导体协会预测
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