中国科学院半导体研究所设备设施科研设备截至2012年3月，中心具有各类环境模拟试验设备30余台（套），有Royce650 键合拉力与芯片剪切力测试仪、SM-105-MP AVEX 机械冲击台、TIRA 电磁变频振动台、WEB9051离心机、UL1000氦质谱检漏仪、EDA407内部水汽检测仪、TE-05-70-WH高低温(湿热)快速温度变化试验箱、内引线拉力、芯片剪切应力测试仪、PIND4511L颗粒碰撞噪声检测仪、充氮充氦氟油加压检漏装置、离心机、电动振动试验系统、冲击台、盐雾腐蚀试验箱、高温试验箱、高低温试验箱、高低温交变湿热试验箱、氦质谱检漏仪等设备，可依据GJB548B、GJB128A、GJB360A、GB/T2423等试验方法标准的要求开展相关试验，试验项目包括机械冲击、振动、恒定加速度、耐湿、盐雾、芯片剪切、键合拉力、粒子碰撞噪声（PIND）、粗细检漏以及高低温循环、贮存、老练、寿命、热冲击等，并可提供相应的试验报告及数据

  馆藏资源据2016年9月研究所官网显示，研究所图书信息中心拥有科学出版社“科学文科”电子图书42000种、超星“读秀”中文电子书约400万种、方正中文电子书约200万种、半导体所电子书约4000种（英文700余种，中文3000余种），拥有IOPP英国物理学会电子书、SPIE国际光学工程学会电子书、Springer出版公司电子书、Wiley出版公司电子书、RSC英国皇家化学会电子书、Semiconductors and Semimetals（Elsevier系列丛书）、Progress in Optics（Elsevier系列丛书）、Solid State Physics（Elsevier系列丛书）等； 拥有566种电子期刊

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