中国科学院上海光学精密机械研究所设施资源仪器设备根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海光学精密机械研究所所级公共技术服务中心有各类大型仪器设备29台（套），价值约5700万元，纳入了中科院上海材料与制造大型仪器区域中心

 仪器设备spitfire-35 KHz 钛宝石激光器高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪多靶磁控溅射仪高重复频率飞秒激光放大系统高/低真空扫描电子显微镜multi-mode扫描探针显微镜卧式干涉仪系统新紫外可见分光光度计超高真空薄膜制备系统uo光谱分析仪Wyko NT1100光学轮廓仪多层介质膜高速控制设备SDH网络测试仪时间分辨光谱仪变温霍尔效应测试仪金属焊接三维激光扫描检测仪石英玻璃气相沉积制备系统激光与材料相互作用的瞬态原位测试分析系统无油真空钎焊系统稳态显微荧光和高激发态动力学联机分析仪高频磁控溅射设备热真空环境模拟设备棱镜耦合仪变温热导率测试仪振动实验台动态机械分析仪X射线荧光分析仪铂金系列快速温变试验箱热膨胀仪光学加工及检测设备激光二极管阵列筛选测试设备同步热分析仪X射线衍射仪多功能X射线衍射仪显微拉曼谱仪大尺寸全自动光学晶体生长系统Dimension 3100原子力显微镜傅立叶变换红外光谱仪24″平面干涉仪表面探针式探针扫描台阶仪电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）固态核磁共振仪xps光电子能谱仪变温全自动椭圆偏振光谱仪时域频域光信号分析系统Zeiss Auriga高分辨双束场发射扫描电子显微镜系统资料来源： 馆藏资源截至2003年7月，中国科学院上海光学精密机械研究所图书馆馆藏中文科技图书2万册、外文科技图书3万册、中文科技期刊合订本2万册、外文科技期刊合订本10万册，中文现刊200余种，外文原版期刊100余种，并拥有50余篇的中外文光学电子期刊全文资源

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