中国科学院上海微系统与信息技术研究所设施资源研究设施根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统工艺平台坐落于上海市宜山路800号，于2003年建成 ，微系统工艺平台建有100级净化厂房70平方米，1000级净化厂房700平方米 ；微系统封装平台位于上海漕河泾高新技术开发区，拥有封装和测试设备，净化室总面积约800平方米，总资产超过4000万元 ；上海市集成光学技术研究中心位于上海市长宁路865号，中心包括两个组成部分：工艺加工平台和测试实验室

中心现有1000级净化厂房100平方米，10000级净化厂房250平方米 

仪器设备根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所构建了多个科研研究平台，建有上海材料与制造大型仪器区域中心，中心现有大型仪器超过100台，总金额约6亿元 

通过中科院仪器设备共享管理平台将100余台通用仪器设备实现了公用共享，主要仪器设备如下表所示：主要仪器设备　多功能等离子工艺系统高真空磁控溅射设备超高真空电子束蒸发设备原子力显微镜低温键合机化学机械抛光机快速退火炉储氢合金粉/镍氢电池/储氢容器高温退火炉反应离子刻蚀机电子束爆光机电感耦合等离子体原则发射光谱仪发射扫描电子显微镜PCRAM电子测试系统变温霍尔系统LAND电池测试系统四探针电阻测试仪高速示波器逻辑分析仪ARBIN电池测试系统光刻机PECVD淀积设备RIE和ICP等离子刻蚀设备磁控溅射设备电子束镀膜机解理划片机超声金丝球焊机DWDM光器件测试系统光谱分析仪光纤熔接机ASE宽带光源稳定化光源UV固化机5-Axis调节架光功率计多通道数字示波器曙光服务器宽频介电谱仪液相感应等离子体涂层系统钨灯丝扫描电子显微镜X-ray衍射仪系统离子色谱系统射频辉光放电质谱总硫分析仪资料来源：    馆藏资源根据2016年1月研究所官网显示，中国科学院上海微系统与信息技术研究所图书馆馆藏为：中文图书1万多册，西文图书1.4万多册，西文、日文、中文期刊共500多种，已开通了ISI Web of Knowledge, Elsevier, Springer等网络数据库，并与中国科学院国家科学数字图书馆、国家科技图书文献中心建立了全文传递服务

中西文图书和期刊均已实现全天候网络查询

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