中国科学院光电技术研究所设备设施据2015年10月研究所官网显示，研究室共用检测技术所级中心共设置5个检测组，共有仪器30台套，仪器价值约4960.52万元；可提供光学材料特性检测、光学零件面形误差检测、光学系统像质检测、几何尺寸检测、形位误差检测、角度检测、环境试验和化学分析等16项参数的检测服务
仪器
圆柱度仪原子吸收分光光度计温度试验箱双频激光干涉仪数字式光电准直仪扫描电子显微镜精密型三坐标测量机经纬仪计量型三坐标激光跟踪仪光学材料应力检测仪工具显微镜二维数显测高仪多功能测量显微镜一等测角装置1m光学表面粗糙度测量仪三维光学材料应力检测仪光学传递函数测量仪光学材料均匀性测量仪分光光度计（Lamda1050）电磁兼容测试系统24英寸激光干涉仪5t电动振动台万能测长仪2m平行光管
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