中国科学院光电技术研究所历史沿革中国科学院光电技术研究所筹建于1969年，1970年6月起在成都大邑县雾山乡动工兴建，初名中国人民解放军1019所

1973年4月长春光机所进行人员分迁，1973年7月正式投入科研试制工作，共建有6个研究室和6个试制加工车间，在编职工1200余人，开始试制第一代160数字式电影经纬仪

1975年12月更名为中国科学院光电技术研究所，光电所向用户移交了首批成功试制的两台第一代160数字式电影经纬仪

1977年12月，第一届光电学术委员会成立，向中国科学院上报了1978-1985年科研发展规划，提出了科研主攻方向是光测设备、大规模集成电路（LSI）装备攻关项目

1979年，光电所决定于四川省成都市南郊双流县兴建新址，并于1988年完成全所整体搬迁工作

1980年开展了自适应光学领域的研究，并组建了中国首个自适应光学实验室，现在该实验团队已经发展为国际最大的自适应研究团队，自适应光学也成为光电所最重要的研究方向之一

80年代中期，光电所在光电捕获跟踪测量技术和自适应光学技术的基础上，开始了激光光束控制技术的研究，并在90年代建成了国家863计划光束控制重点实验室、国家863计划自适应光学重点实验室

实验室拥有中国一流的人才队伍和领先的技术，参与完成了多次重大科学试验，奠定了光电所在该领域不可替代的地位

1981年，光电所研制成功中国首台光刻机，该光刻机于1983年荣获中国科学院科技进步一等奖

1985年，中国首台具有激光、红外和电视三种自动跟踪和测量手段的778光电经纬仪研制成功，并成为获得国家科技进步特等奖的重要子项目，这是中国第四代经纬仪的代表，标志中国光电跟踪测量设备跻身世界先进水平

随后，778的跟踪测量技术被广泛推广应用，显著推动了中国光电工程和光电跟踪的技术进步

1986年，自适应光学在世界上首次应用于激光核聚变装置（ICF）神光I号光束控制

90年代末研制成功的新型红外电视跟踪经纬仪实现出口，为中国高精度光电跟踪经纬仪由进口向出口的历史转变做出了重要贡献

1993年，被誉为中国电子十大科技成果之一的中国首台g线光刻机——1.5-2微米实用型分步重复投影光刻机在光电所横空出世；1994年，美国才开始将这项技术用于其国家点火装置原理样机中，并称是中国率先使用；1.2米望远镜可见光自适应光学系统于1990年在中国首次实现对星体目标的实时补偿校正，使中国成为世界上第三个实现这一目标的国家

1997年，光电所首批通过中科院科研基地型研究所定位评估；光电所自主研发0.8-1微米分步重复投影光刻机，是中国完全自主研发的唯一一台做出过器件的光刻机

1999年，光电所微细加工光学技术国家重点实验室、国家863计划光束控制重点实验室、国家863计划自适应光学重点实验室率先进入中国科学院知识创新工程试点一期

2001年，全所整体进入创新试点二期，在此后十余年内，光电干扰与防护、微纳光学、航空航天光电、天文目标观测、生物医学光学等新兴学科在光电所如雨后春笋般涌现，形成了以国民经济发展和国家安全的战略需求为牵引，面向世界光电科技领域发展前沿，重点开展光电工程应用基础性、前瞻性、战略性高技术研究与系统集成创新研究的格局

蓬勃发展的科技事业培养出了一支中国一流的科研团队，胡锦涛、李长春、李岚淸等多位党和国家领导人先后视察光电所，并对光电所寄予厚望

 2018年11月29日，由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备“超分辨光刻装备项目”在成都通过验收， 作为项目重要成果之一，可加工22纳米芯片，中国科学家研制成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，并形成一条全新的纳米光学光刻工艺路线，具有完全自主知识产权

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