中国科学院精密测量科学与技术创新研究院机构前身中国科学院武汉物理与数学研究所时期1958年，建立中国科学院武汉数学研究室，中国科学院武汉电子研究所成立

1959年，中国科学院武汉数学研究室扩建为中国科学院数学计算技术暨自动化研究所

1961年，中国科学院武汉电子研究所同中南五省的广州电子学与半导体研究所等十二个研究所合并，成立中国科学院中南电子研究所

1962年，中国科学院中南电子研究所并入中国科学院中南物理研究所并更名为中国科学院中南物理研究所

1970年，中国科学院中南物理研究所更名为中国科学院湖北物理研究所

1978年，中国科学院湖北物理研究所更名为中国科学院武汉物理研究所

1979年，中国科学院数学计算技术暨自动化研究所更名为中国科学院武汉数学物理所

1986至1988年，中国科学院武汉物理研究所建成波谱与原子分子物理国家重点实验室

1996年，中国科学院武汉物理研究所与中国科学院武汉数学物理研究所合并组建中国科学院武汉物理与数学研究所

2001年，由湖北省科学技术厅批准，“武汉磁共振研究中心”于2001年建立，依附于波谱与原子分子物理国家重点实验室，中国科学院武汉物理与数学研究所为挂靠单位

2003年，经中国科学院认可，中国科学院武汉物理与数学研究所与上海光机所联合设立“中国科学院冷原子物理中心”，与华中科技大学等共同组建武汉光电国家实验室

 中国科学院测量与地球物理研究所时期1957年，中国科学院测量制图研究室成立

1959年，中国科学院武汉测量制图研究室改名为中国科学院武汉测量制图研究所

1961年，测量制图研究所、武汉高空物理研究所、湖北机械研究所三所合并为中国科学院测量及地球物理研究所

1970年，改属国家地震局更名为地震大队（研究所）

1978年，恢复中国科学院测量与地球物理研究所

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