真空科学与技术学报研究发表据2018年5月26日中国知网显示，《真空科学与技术学报》共出版文献4862篇

据2018年5月26日万方数据知识服务平台显示，《真空科学与技术学报》载文量为3335篇

2001年21卷第一期，“特大型空间环境试验设备的超高真空获得技术” （作者为北京卫星环境工程研究所的黄本诚、刘国青、成致祥和张春元）获中国科学技术协会所属期刊第一届优秀学术论文奖

2008年，①“新型声表面波器件中氧化锌薄膜的研制”（2004年24卷，增刊7-14页，通信作者为清华大学材料系的潘峰）获得中国科协优秀论文二等奖 ②“用当代飞行时间二次离子质谱分析航天器污染”（2006年26卷，第5期348-352页，通信作者为清华大学电子工程系的陈旭和查良镇）获得中国科协优秀论文三等奖

 据2018年5月官网显示，《真空科学与技术学报》近几年来正刊稿件录用率情况如下：年正刊发表论文篇数当年收到稿件篇数录用率200310820652.4%200411720956.0%200511521653.2%200612223053.0%200712223452.1%200812428343.8%200914133841.7%201014228450%

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