中国电子科技集团公司第四十五研究所科技研发1975年 研制成功我国首台精缩照相机,获国家科技进步一等奖1978年 研制成功我国首台图形发生器1984年 研制成功我国首台分步光刻机,并获得电子工业科技进步一等奖1993年 研制成功我国首台双面光刻机,并获得国家级新产品奖,电子工业科技进步三等奖1997年 研制成功我国首台超低温阵列探针测试台,获电子工业科技进步二等奖1997年 研制成功我国首台全自动探针测试台2005年 承担的国家重点科研项目“SB-601型双面光刻机”通过了设计定型和验收,该设备是国内第一台实用化的6英寸双面光刻机,在国内处于领先水平2005年 金刚石内圆刀片镀制成型装置技术、旋转冲洗设备专用无刷电机驱动装置、油墨打印头三项专利全国第十五届发明展银奖2005年 8英寸晶片减薄机通过国家鉴定,该设备进给分辨率可达0.1μm,具有世界先进水平,在此基础上减薄出60μm的片子为国内首创
以上内容由大学时代综合整理自互联网,实际情况请以官方资料为准。