表面科学分析技术表面的研究和分析包括物理和化学的二种分析技术
几种现代的方法捡验在真空中最表层的1-10 nm
这些包括X-光光电子谱仪，俄歇电子谱仪，低能电子衍射，电子能量损失谱仪，热解吸收谱仪，离子散射谱仪，二次离子质谱仪，重极化干射仪
和其它表面分析方法，包括在材料分析方法表中
许多这些方法要求在真空中进行，依靠捡测从研究的表面发射出来的电子或离子
一般说，还要求超高真空（在10的负七次方帕斯卡压力，或更高）以减少剩余气体对表面的污染
因此，测量需要低压力
在广泛范围内可用纯光学技术研究介面
反射吸收红外，重极化干涉仪，表面增强拉码，全频分光镜可用来捡验固-真空，以及固-气，固-液和液-气表面，重极化干涉仪可用来确定双折射薄膜中的有序或无序
例如，这已用来研究类酯物形成双分子层以及它们和薄膜蛋白的相互作用
现代物理分析方法包括扫描隧道显微镜及其类似的设备
这些电子显微镜使表面科学家增加测量许多表面的结构的可能
这和对纳米技术更有兴趣有关
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