微系统与纳米工程栏目设置主要发表原创性论文及综述，反应微纳机电系统（MEMS/NEMS）领域的最新研究进展
稿件刊登范畴包括微纳米器件和系统的新设计（理论、建模和仿真）、先进制造、测试技术、可靠性及新应用、纳米工程技术等
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