声表面波发展简史早在九十多年前,人们就对这种波进行了研究
1885 年,瑞利根据对地震波的研究,从理论上阐明了在各向同性固体表面上弹性波的特性
但由于当时的科学技术水平所限,这种弹性表面波一直没有得到实际上的应用
直到六十年代,由于半导体平面工艺以及激光技术的发展,出现了大量人造压电材料为声表面波技术的发展提供了必要的物质和技术基础
作为六十年代末期才发展起来的一门新兴科学技术,它是声学和电子学相结合的一门边缘学科
由于声表面波的传播速度比电磁波慢十万倍,而且在它的传播路径上容易取样和进行处理,因此,用声表面波去模拟电子学的各种功能,能使电子器件实现超小型化和多功能化
同时,由于声表面波器件在甚高频和超高频波段内以十分简单的方式提供了其它方法不易得到的信号处理功能,因此,声表面波技术在雷达、通信和电子对抗中得到了广泛的应用
声表面波的应用最早是在军用雷达、广播、电视领域作频率稳定的滤波器之用
1949 年,美国贝尔电话实验室发现了LiNbO3单晶
1964 年产发表了激发弹性表面波平面结构换能器的专利
特别应该指出的是,1965 年,怀特(R . M.white)和沃尔特默(F.W.voltmer )在应用物理杂志上发表了题为“一种新型表面波声-电换能器― 叉指换能器”的论文,从而取得了声表面波技术的关键性突破
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