超临界流体萃取装置规模超临界流体萃取装置设计的总体要求是：1）工作条件下安全可靠，能经受频繁开、关盖（萃取釜），抗疲劳性能好；2）一般要求一个人操作，在10 min内就能完成萃取釜全膛的开启和关闭一个周期，密封性能好；3）结构简单，便于制造，能长期连续使用（即能三班运转）；4）设置安全联锁装置
高压泵有多种规格可供选择，三柱塞高压泵能较好地满足超临界CO2萃取产业化的要求
超临界CO2萃取装置宜以中小型较为实际
大型装置如单釜大于1 000 L规模的就不宜盲目上马
每套装置配置2～3个萃取釜效率会高一些
日本几家拥有超临界CO2萃取装置的公司，其中大部分是中小型装置，只有一家是大于1 000 L容积的
总体上讲，SFE过程的主要设备是由高压萃取器、分离器、换热器、高压泵（压缩机）、储罐以及连接这些设备的管道、阀门和接头等构成
另外， 因控制和测量的需要， 还有数据采集、处理系统和控制系统
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