全国半导体设备和材料标准化技术委员会下设分委会#委员会编号委员会名称专业领域成立年代1TC203/SC1气体电子工业用气体（微电子、光电子、平板显示器制造用气体等）1993年2TC203/SC2材料半导体材料1993年3TC203/SC3封装封装1993年4TC203/SC4微光刻微光刻术语等基础通用，掩模基片、掩模版及光致抗蚀剂等关键材料的产品规范和检测方法，微光刻图形数据处理技术、光学光刻与电子束光刻工艺等微光刻关键工艺规范，光掩模制造与光刻工艺相关设备及部件等2020年
以上内容由大学时代综合整理自互联网，实际情况请以官方资料为准。
