中国科学院微电子研究所人员编制截至2014年底，中国科学院微电子研究所共有在职职工1061人
其中科技人员819人、科技支撑人员203人，包括中国科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员72人、副研究员151人、高级工程技术人员64人
共有中国科学院“百人计划”入选者20人，国家杰出青年科学基金获得者2人
中国科学院院士：刘明 中国科学院“百人计划”入选者（名单不全）：曹立强、陈杰、陈曙东、樊晓华、霍宗亮、贾锐、金智、梁利平、刘洪刚、刘昱、阎跃鹏、殷华湘、于大全 国家杰出青年科学基金获得者：陈杰、刘明
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