真空科学与技术学报办刊历史1981年，《真空科学与技术》创刊

 1987年，获得国际标准刊号 ISSN号0253-9748

1988年，获得国内统一刊号CN11-2098

1992年，起入选中国自然科学核心期刊：在300种1992-1993年中国自然科学核心期刊中，《真空科学与技术》名列第73位，是信息科技学科唯一入选的期刊

1994年，美国国际CODEN中心确定了国际刊名代码为CKKSDV

1996年3月，美国工程信息公司（EI）定为EI Compendex数据库收录期刊

1997年，选入由北京大学图书馆和北京高校图书馆出版的《中文核心期刊要目总览》

2000年，学报开本由小16开改为大16开

2004年，更改刊名为《真空科学与技术学报》，中国标准刊号变更为ISSN 1672-7126,CN 11-5177/TB

学报的英文刊名为《CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY》

2008年，开始EI收录率达100﹪

2010年3月，与中国知网――中国学术期刊网络出版总库签定独家全文收录协议

 2011年，由双月刊改为月刊

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