广东省科学院半导体研究所科研条件拥有近5000平方米的研发基地，其中超净实验室超1000平方米，拥有MOCVD等100多台/套关键设备，设备总价值过亿元
已建立材料外延、微纳加工、封装应用、分析测试四大科研平台，硬件条件达到国际先进水平，是国内第三代宽禁带半导体材料研究的重要基地，也是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一，并且具备2-6英寸第三代半导体产业技术的中试能力
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