徐端颐，1938年出生于江西省南昌市，毕业于清华大学精密仪器系，后留校任教。他长期从事超精细聚焦光束和超精密加工技术的研究，研制出多种型号的“分步重复照相机”、“自动光刻机”和“紫外曝光铬版精缩机”等集成制造关键设备，为中国光刻机事业的发展做出了重要贡献。

徐端颐在超精细聚焦光束和超精密加工技术领域取得了多项成果。他提出了利用光的频率维扩大信息存储容量的基础研究，建立以光学多阶编码代替传统二近制编码的数字式光盘存储数学模型，并将以上两种技术结合，组成了以多波长多阶存储技术为核心的进一步提高光盘存储密度的新途径。此外，他还提出了利用光的频率维扩大信息存储容量的基础研究，建立了以光学多阶编码代替传统二近制编码的数字式光盘存储数学模型，并将以上两种技术结合，组成了以多波长多阶存储技术为核心的进一步提高光盘存储密度的新途径。

徐端颐在超精密加工技术方面也有着卓越的成就。他研制出多种型号的分步重复照相机和自动光刻机等集成制造关键设备，为中国光刻机事业的发展做出了重要贡献。这些设备在当时的中国还是一片空白，徐端颐通过自主研发和不断创新，填补了国内在该领域的空白。

除了在科研方面的成就外，徐端颐还十分注重人才培养和教育事业。他长期担任清华大学教授，培养了一大批优秀的硕士和博士研究生，为中国光刻机领域的发展输送了大量人才。同时，他还积极参与学术交流活动，推动了中国光刻机领域与国际的接轨。

综上所述，徐端颐是一位在超精密加工和光刻机领域取得卓越成就的专家和学者。他的研究成果和实践经验对于推动中国光刻机事业的发展产生了积极的影响。同时，他也是一位优秀的教育者和人才培养者，为中国光刻机领域的发展做出了重要的贡献。

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