声表面波原理

声表面波原理声表面波器件是在压电基片上制作两个声一电换能器―叉指换能器

所谓叉指换能器,就是在压电基片表面上形成形状像两只手的手指交叉状的金属图案,它的作用是实现声一电换能

声表面波器件的工作原理是,基片左端的换能器(输入换能器)通过逆压电效应将输入的电信号转变成声信号,此声信号沿基片表面传播,最终由基片右边的换能器(输出换能器)将声信号转变成电信号输出

整个声表面波器件的功能是通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理,并利用声一电换能器的特性来完成的

当我们把电压加载在压电晶体(铌酸锂、压电陶瓷)的电极上,那么由于压电效应就会在压电晶体的晶格中形成机械畸变

所谓的声表面波就是在压电基片材料表面产生并传播、并且其振幅随深入基片材料的深度的增加而迅速减少的弹性波

声表面波滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个0.1μm厚的铝膜构成的电极结构即声电换能器(叉指换能器)

叉指换能器就是采用半导体集成电路的平面工艺,在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜,再把设计好的两个IDT的掩膜图案利用光刻方法沉积在基片表面,分别作为输入换能器和输出换能器

声电转换器的形状是指状电极结构,即手指相互交叉的形式

每两个这种相互交叉的指状系统构成一个指间转换器或者叉指换能器

其工作原理是:输入换能器将电信号转换成声波信号,沿晶体表面传播,输出换能器再将接收到的声波信号转换成电信号输出 

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