掠射角掠入射衍射理论在GID技术中，随着所研究的对象不同，使用不同的理论
在研究表面单层原子结构时应当采用X射线运动学理论，还可以使用半运动学理论的畸变波近似
这里主要介绍适用于近完整晶体的衍射动力学理论方法
在GID条件下入射波的全反射效应变得重要，也使理论分析复杂化
值得注意的是，尽管衍射波实际上不影响全反射波，但后者却影响衍射过程
在数学上，图1所示的CG和NCG几何之间有许多类似之处，可以用修正的二波理论（MDT）统一处理，所不同的是关于偏离精确布拉格条件的角偏离参数表达式不同
事实上，在CG几何下摇摆曲线可以通过晶体绕共面法线旋转（改变Φ0）作出；而在NCG几何中摇摆曲线可以在固定Φ0下，晶体绕其表面法线旋转作出
掠入射衍射强度是指入射X射线在样品一定贯穿深度下的衍射强度
通常由于光电吸收等效应，入射X射线在样品中不断衰减
入射X射线衰减为1/e所到达的深度称为贯穿深度
X射线贯穿深度，对确定的材料和x射线波长主要取决于掠射角，并在掠射角接近全反射临界角时急剧变化
因此，定量的工作需要衍射波强度和贯穿深度的表达式
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