重力梯度仪基于MEMS基于MEMS的重力梯度仪采用的原理与GGI相似，也是采用基于差分加速度计的测量模式
不过这种重力梯度仪用一个单独的晶片构成，在这个晶片上集成了两个加速度计，每个加速度计有两个梳状电容结构
由于加速度计是基于MEMS集成在一个单独的晶片上，因此与传统的加速度计相比具有更小的质量和体积
它的测量原理是利用长弹簧和小的附加质量，使得它可以实现较低水平的布朗噪声
放置在梳状驱动机构中的电容极板作为输出装置，其综合灵敏度为
这种重力梯度仪以微小的体积和重量( 小于1 kg) ，或许会成为未来卫星重力梯度测量仪器的一个发展方向
其基本结构如图 3所示
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