中国科学院微电子研究所科研设备为了加强技术支撑系统建设，中国科学院微电子研究所在2009年筹建并成立了了中国科学院微电子所公共技术服务中心
据2016年1月研究所官网显示，该研究所共开放各类大型设备共计104台，价值共计89064026.58元
部分仪器概览序号所属实验室仪器名称仪器型号图片说明1一室静态参数功率器件测试系统TESEC 3620-TT2一室动态参数测试系统TESEC 3430-SW3一室热阻测试系统TESEC 9424-KT4三室电子束光刻系统JEOL JBX- 6300FS5三室Pattern Generator图形发生器GCA 3600F6三室Photorepeater 分步重复精缩机GCA 36967四室探针台SUSS PA2008四室冷水机GW511C9八室等离子增强化学气相沉积系统HQ-210八室等离子体浸没式离子注入机PIII-ICP08A11八室紫外光刻机URE-2000/A资料来源：
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