真空科学与技术学报影响因子据2018年5月26日中国知网显示，《真空科学与技术学报》总被下载549757次、总被引18236次，（2017版）复合影响因子为0.697，（2017版）综合影响因子为0.505

 据2018年5月26日万方数据知识服务平台显示，《真空科学与技术学报》被引量为14284次，下载量为100233次；据2015年中国期刊引证报告（扩刊版）数据显示，《真空科学与技术学报》影响因子为0.76，在全部统计源期刊（6735种）中排第1677名，在一般工业技术、无线电电子学与电信技术（216种）中排第38名

 《中文核心期刊要目总览》2008年版评价指标统计给出的数据： 刊物隶属度数据真空科学与技术学报0.110541692被索量:24 被摘量:32 被引量:89、它引量:86 被摘率:0.2623 影响因子:0.0322、获奖等:7 基金论文比:0.1044 WEB下载量:94772002年以后《真空科学与技术》的EI收录率：年EI收录篇数EI收录率20025749.1%20034138.0%200410993.2%200510893.9%2006133(含增刊)82.1%200711493.4%200812298.4%（从第2期起100%）2009141100%2010142100%下表是中国科学文献计量评价研究中心“中国学术期刊综合引证年度报告”给出的数据

年影响因子总被引频次他引总引比即年指标5年影响因子20020.26691390.71220.017220030.31121980.82320.03720040.3172650.87920.02520050.3562800.8100.00920060.4094820.930.0740.44220070.4565020.8430.0410.44620080.9435880.620.0560.63920090.9806640.570.050

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